אפלייד מטיריאלס הכריזה על מכונה חדשה לבדיקה וסיווג של פגמים בתהליכי ייצור שבבים

אפלייד מטיריאלס הכריזה על מכונה חדשה לבדיקה וסיווג של פגמים בתהליכי ייצור שבבים
מאת: מערכת Telecom News, 8.7.13, 19:00

טכנולוגיית הדור הבא של אפלייד מטריאלס לבדיקת וסיווג פגמים בשבבים משפרת את התפוקה בייצור מתקדם של טרנזיסטורים תלת ממדיים וטכנולוגיית ייצור1x  ננומטר.

איתי רוזנפלד, סגן נשיא ומנהל כללי של היחידה העסקית לדיאגנוסטיקת ובקרת תהליכים באפלייד מטריאלס: "ה- SEMVision G6 ו-Purity ADC שלנו פותרים את הבעיות הקשות ביותר שעמן מתמודד הענף בבקרת תהליכי זיהוי פגמים, עם טכנולוגיות דימוי מבוססות מיקרוסקופ אלקטרוני ללא מתחרים, וכלי אנליטי רב עוצמה המאפשר סיווג מהיר ומדויק:

• יכולות ההדמיה הרב ממדיות והייחודיות של מערכת SEMVision G6  הנחשפת היום מספקות את הרזולוציה הגבוהה ביותר ואיכות התמונה הטובה ביותר בתעשייה
• תכנון מתקדם ואוטומציה מלאה מספקים עד 100% שיפור בקצב העבודה
• Purity ADC  - אלגוריתמים דינמיים המבוססים על למידת מכונה (machine learning) מספק רמות יוצאות דופן של זיהוי פגמים, סיווג מדויק וקצב עבודה מהיר

אפלייד מטריאלס הכריזה על גרסה חדשה של מכונה מבוססת מיקרוסקופ אלקטרוני לבדיקה וסיווג של פגמים בתהליך ייצור השבבים עבור משפחת מוצרי ה- SEMVision^™ שלה, המובילים את השוק. הטכנולוגיות החדשות מאיצות את השגת התפוקה האופטימאלית אצל יצרני שבבים בתהליך 1X-nm ומעבר לו. מערכת ניתוח הפגמים Applied SEMVision G6 מציעה שילוב של רזולוציה גבוהה ללא תקדים עם יכולות תמונה רב ממדיות, בתוספת יכולות למידת מכונה (machine learning) מהפכניות של מערכת  Purity^™ Automatic Defect Classification ((ADC המציבה סטנדרט ביצועים חדש ומספקת לתעשייה טכנולוגיה ראשונה מסוגה לבחינה וניתוח פגמים בתהליך ייצור שבבים (Defect Review Scanning Electron Microscope - DR SEM).

"הכלים הקיימים לבחינה וניתוח פגמים מתמודדים עם אתגרים כבדים של כללי התכנון המורכבים של 1X nm וארכיטקטורות טרנזיסטור תלת ממדיות," אמר איתי רוזנפלד, סגן נשיא ומנהל כללי של היחידה העסקית לאבחון ובקרת תהליכים באפלייד מטריאלס, הממוקמת בישראל. "ה- SEMVision G6 ו-Purity ADC שלנו פותרות את הבעיות הקשות ביותר שעמן מתמודד הענף בבקרת תהליך ובזיהוי פגמים עם טכנולוגיות תמונה ללא מתחרים וכלי אנליטי רב עוצמה לסיווג מהיר ומדויק. רבים מהלקוחות המובילים בשוק כבר התקינו את מערכות  SEMVision G6ו-Purity ADC ונהנים מהספק עבודה המהיר בעד 100%, איכות תמונה מתקדמת ואיכות סיווג הטובה מסוגה. כל אלה מאפשרים ללקוחותינו תפוקה משופרת".

הרזולוציה של מערכת ה- SEMVision G6 החדשה מראה שיפור של 30% מזו של הדור הקודם והינה הגבוהה ביותר בתעשייה כיום. יכולת זו, בשילוב עם הזוית הייחודית להטיית קרן האלקטרונים (e-beam), הופכים את ה-G6 למיקרוסקופ האלקטרוני לבקרת פגמים הטוב והמוכח ביותר לאיתור, זיהוי וניתוח פגמים בטרנזיזטורים תלת ממדיים FinFET, ובמבנים בעלי יחס גובה- רוחב (aspect ratio) גבוה בטכנולוגיית 1Xnm. מערכת הגלאים המתקדמת ויכולות עיבוד התמונה המתוחכמות יוצרות תמונות טופוגרפיות איכותיות במיוחד, המאפשרות צפייה בכל כוון גם בפגמים הזעירים והשטוחים ביותר. גילוי בעל טווח דינמי רחב, איסוף של אלקטרונים מוחזרים אלסטית (back scattered electrons) וסינון אנרגטי של האלקטרונים מאפשרים הדמיה ביחס גובה-רוחב גבוה. אנרגיות קרן גבוהות מאפשר חדירה וצילום דרך השכבה העליונה כדי לאתר פגמים בשכבות עמוקות יותר.

האלגוריתמים הדינמיים ללמידת מכונה של Purity ADC מנתחים ומסווגים פגמים ומבטיחים שהסיווג יהיה איכותי ועקבי על מנת לאפשר בקרת תהליך יציבה ואיתור מהיר ואמין של חריגות. אלגוריתמים חכמים של למידת מכונה מאפשרים גם להפריד בין פגמים אמיתיים למספר גדול של פגמים לכאורה (nuisance) או התרעות שווא, אתגר שנעשה קשה יותר ויותר ככל שהשבב מורכב יותר וקטן יותר. עם תהליך מוכח של ניתוח וסיווג חכמים, Purity ADC מעניקה ללקוחות לראשונה את הביטחון לסמוך על מערכת בדיקה אוטומטית שתזהה במהירות ובמדויק סוגי פגמים שונים בסביבת הייצור ותאיץ את משך הזמן עד לתפוקה אופטימאלית.